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发布时间:2020-03-17 05:30
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  FFU 层流送风单元模块可连接使用 , 使得 FFU 广泛应用洁净室、洁净工作台、洁净生产线、组装式洁净室和层流罩等应用场合。 FFU 设有●初、高效两级过滤网。风机从 FFU 顶部将空气吸入并经初、高效过滤器,过滤后的洁净空气在整个出风面以0.45m/S±20% 的风速匀速送出。

  FFU(Fan Filter Unit)是风机和过滤器的组合,也可称为“自带风机的过滤设备”。FFU通常安装在洁净室的送风末端,一般放置在吊装的“干式”垫片密封龙骨框架上。FFU上面部分为风机模块,下面部分为过滤器。根据洁净度的要求,过滤器可为不同等级▪▲□◁的高效(HEPA)或超高效(ULPA)过滤器,为洁净室提供洁净空气。风机模块除了要克服FFU下部高效过滤器的阻力,还要克服整个循环风所有通道部件的阻力,从而□◁维持设定的运行风速。FFU系统具有设计施工简◆●△▼●便,风速调节灵活,洁净区易于变更等特点,因此已成为工业洁净室的流行系统形式之一。

  FFU层流送风单元模块可连接使用,使得FFU广泛应用洁净室、洁净工作台、洁净生产线、组装式洁净室和层流罩等应用场合。FFU设有初、高效两极过滤网。风机从FFU顶部将空气吸入并经初、高效过滤器.过滤后的洁净空气在整个出风面0.45m/s±20%的风速匀速送出。

  采用美国最新技术,适用于在各种环境中获得高级别的洁净环境。它为不同尺寸大小,不同洁净度等级的洁净室、微环境提供高质量的洁净空气。在新建洁净室、洁净厂•□▼◁▼房式改造翻新中,即可提高洁净度级别,降低噪音和减少振动,也可大大降★△◁◁▽▼低造价,安装维△▪▲□△护方便,是洁净环境的理想部件。

  实际尺寸(actual size):FFU过滤器的实际尺寸=模数尺寸-(龙骨断面宽度-25mm),风机模块的实际尺寸比过滤器稍大4mm。比如说常用的吊顶龙骨端面宽度为55mm,模数尺寸为1200,900,600所对应的FFU过滤器实际尺寸为1170,870,570,风机模块的◇•■★▼实际尺寸为1174,874,574。

  机外余压(ESP):在某一设定风速下,风机模块的总静压(TSP)扣除HEPA/ULPA过滤器的阻力,即为机☆△◆▲■外余压(ESP),单位是Pa。ESP是指FFU整机能克服洁净室循环风阻力的能力,无论是标注FFU机外余压或风机模块的总静压TSP,都必需指名送风风速或风量,否则没有意义。

  输入能耗(input power consumption):FFU正常运转时输入电压和输入电流的乘积,单位是W。显然,FFU在不同的运行工况点,即在不同的运行风量和总静压时,输入能耗不同。因此,如果不指明运行工况点,输入能耗值没有意•●义。

  单体噪音(noise level):根据标准IES-RP-CC002,FFU正常运转时在距离出风面中心正下方1.2mm处的噪音值,单位是dB(A)。FFU在不同的运行工况点,即在不同的运行风量和总静压时,噪音◇=△▲不同。因此,如果不指明运行工况点,噪音值没有意义。

  送风均匀度(air uniformity):根据标准IES-RP-CC002,FFU正常运转时,在距离出风面上方150mm(6”)的水平面上测量逐点的风速,得出平★◇▽▼•均风速值。平均风速与最大风速和最小风速的偏差比即为送风均匀度,单位为+/-%。标准IES-RP-CC002中要求FFU的任一点的送风风速与其平均风速的偏差均应在+/-20%以内。

  第一:灵活性。因为FFU是自带动力★-●=•▽的,它不受区域的限制。在一个偌大的洁净厂房里,可根▲★-●据需要,分区控制。而且,随着半导体生产工艺的变化,厂房布局必然要作相应调整,FFU的灵活性使得这样的调整变得轻松,而且不会带来二次投资。

  第二:可再利用性。从理论上讲,一时•☆■▲不用的FFU设备,可以拆下来,密封好,妥善保管,留待下◆▼次使用。

  第三:负压通风。这是FFU的独特特点。由于它本身能够提供静压,使得送风静压箱相对于洁净厂房负压。这样,静压箱内的颗粒就不会受到压力的作用泄漏到洁净区里,使得密封变得很简单而且安全。

  第四:缩短建设周期。使用FFU省掉了风管的制作和安装,因为风管在洁净工程中,占掉很大的建设周期,任何一个投资者都希▽•●◆望投资能尽快带来收益,选用FFU成为了▼▲一种可能。

  第五:减少运行成本。虽然在选用FFU时,初期投资要比使用风管通风高,但它在后期运行中,突出的表现出节能、免维护等特点。用在循环减少40%的运行成本。

  (2)绝缘不良造成过热、过载导致线)电源连接或端子的绝缘不良,而造成异常发热、接地错误、层间短路…..等。

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